Francis E H Tay
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems Francis E H Tay 2002 edition

Name: Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems
Price: 25370 JPY
Availability: OutOfStock
Author: Francis E H Tay

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Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems

Francis E H Tay

2002 edition

Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.

299 pages, biography

メディア	書籍 Hardcover Book (ハードカバー付きの本)
リリース済み	2002年8月31日
ISBN13	9781402071751
出版社	Springer-Verlag New York Inc.
ページ数	299
寸法	155 × 235 × 19 mm · 712 g
言語	英語
編集者	Tay, Francis E. H.