Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems - Francis E H Tay - 書籍 - Springer-Verlag New York Inc. - 9781402071751 - 2002年8月31日
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Francis E H Tay
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems 2002 edition

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Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.

299 pages, biography

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2002年8月31日
ISBN13 9781402071751
出版社 Springer-Verlag New York Inc.
ページ数 299
寸法 155 × 235 × 19 mm   ·   712 g
言語 英語  
編集者 Tay, Francis E. H.

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