Klaus Graff
Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication - Springer Series in Materials Science Klaus Graff 2nd ed. 2000. Softcover reprint of the original 2n edition

Name: Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication - Springer Series in Materials Science
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Author: Klaus Graff

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Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication - Springer Series in Materials Science

Klaus Graff

2nd ed. 2000. Softcover reprint of the original 2n edition

This up-to-date monograph provides a thorough review of the relevant data and properties of the transition-metal impurities generated during silicon-sample and device fabrication. This new edition includes important recent data and many new tables.

270 pages, biography

メディア	書籍 Paperback Book (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み	2012年10月21日
ISBN13	9783642629655
出版社	Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
ページ数	270
寸法	155 × 235 × 16 mm · 412 g
言語	英語