Klaus Graff
Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication - Springer Series in Materials Science Klaus Graff 2nd rev. edition

Name: Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication - Springer Series in Materials Science
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Author: Klaus Graff

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Paperback Book

2nd ed. 2000. Softcover reprint of the original 2n edition

(2012) ¥ 16.286

Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication - Springer Series in Materials Science

Klaus Graff

2nd rev. edition

This up-to-date monograph provides a thorough review of the relevant data and properties of the transition-metal impurities generated during silicon-sample and device fabrication. This new edition includes important recent data and many new tables.

270 pages, XV, 270 p.

メディア	書籍 Hardcover Book (ハードカバー付きの本)
リリース済み	2000年2月18日
ISBN13	9783540642138
出版社	Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
ページ数	270
寸法	155 × 235 × 238 mm · 521 g
言語	英語