John T. Milek
Silicon Nitride for Microelectronic Applications: Part 1 Preparation and Properties John T. Milek Softcover reprint of the original 1st ed. 1971 edition

Name: Silicon Nitride for Microelectronic Applications: Part 1 Preparation and Properties
Price: 16545 JPY
Availability: OutOfStock
Author: John T. Milek

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Silicon Nitride for Microelectronic Applications: Part 1 Preparation and Properties

John T. Milek

Softcover reprint of the original 1st ed. 1971 edition

2 References 4 Methods of Preparation * 5 Introduction * 5 Direct Nitridation Method 8 Evaporation Method * 9 Glow Discharge Method.

118 pages, 2 black & white illustrations

メディア	書籍 Paperback Book (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み	2013年1月21日
発売日	1971
ISBN13	9781468461640
出版社	Springer-Verlag New York Inc.
ページ数	118
寸法	210 × 279 × 6 mm · 303 g
言語	英語