Reduced Thermal Processing for ULSI - NATO Science Series B - R a Levy - 書籍 - Springer-Verlag New York Inc. - 9781461278573 - 2011年9月30日
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Reduced Thermal Processing for ULSI - NATO Science Series B Softcover reprint of the original 1st ed. 1989 edition

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Proceedings of a NATO ASI held in Boca Raton, Florida, June 20-July 1, 1988


450 pages, black & white illustrations

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2011年9月30日
ISBN13 9781461278573
出版社 Springer-Verlag New York Inc.
ページ数 450
寸法 170 × 244 × 23 mm   ·   721 g
言語 英語  
編集者 Levy, R.A.

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