Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology - Gerhard Franz - 書籍 - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642099397 - 2010年10月19日
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Gerhard Franz
Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2009 edition

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Over the last forty years, plasma supported processes have attracted ever - creasing interest, and now, all modern semiconductor devices undergo at least one plasma-involved processing step, starting from surface cleaning via coating to etching.

732 pages, black & white illustrations

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2010年10月19日
ISBN13 9783642099397
出版社 Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
ページ数 732
寸法 155 × 235 × 38 mm   ·   1,04 kg
言語 英語  

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