Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology - Seongbo Shim - 書籍 - Springer Nature Switzerland AG - 9783030094553 - 2019年2月8日
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Seongbo Shim
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology Softcover Reprint of the Original 1st 2018 edition

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This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification.

138 pages, 40 Tables, color; 54 Illustrations, color; 38 Illustrations, black and white; XIV, 138 p.

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2019年2月8日
ISBN13 9783030094553
出版社 Springer Nature Switzerland AG
ページ数 138
寸法 150 × 220 × 10 mm   ·   226 g
言語 ドイツ語  

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