Seongbo Shim
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology Seongbo Shim Softcover Reprint of the Original 1st 2018 edition

Name: Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology
Price: 15967 JPY
Availability: OutOfStock
Author: Seongbo Shim

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2018 edition

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Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology

Seongbo Shim

Softcover Reprint of the Original 1st 2018 edition

This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification.

138 pages, 40 Tables, color; 54 Illustrations, color; 38 Illustrations, black and white; XIV, 138 p.

メディア	書籍 Paperback Book (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み	2019年2月8日
ISBN13	9783030094553
出版社	Springer Nature Switzerland AG
ページ数	138
寸法	154 × 234 × 12 mm · 246 g
言語	ドイツ語