Dry Etching for VLSI - Updates in Applied Physics and Electrical Technology - A.j. Van Roosmalen - 書籍 - Springer-Verlag New York Inc. - 9781489925688 - 2013年5月29日
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A.j. Van Roosmalen
Dry Etching for VLSI - Updates in Applied Physics and Electrical Technology Softcover reprint of the original 1st ed. 1991 edition

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This book has been written as part of a series of scientific books being published by Plenum Press. This book is unique in that it gives a compact, yet complete, in-depth overview of fundamentals, systems, processes, tools, and applications of etching with gas plasmas for VLSI.

256 pages, black & white illustrations

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2013年5月29日
ISBN13 9781489925688
出版社 Springer-Verlag New York Inc.
ページ数 237
寸法 178 × 254 × 13 mm   ·   449 g
言語 英語  

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