Dry Etching for VLSI - Updates in Applied Physics and Electrical Technology - A.j. Van Roosmalen - 書籍 - Springer Science+Business Media - 9780306438356 - 1991年3月31日
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A.j. Van Roosmalen
Dry Etching for VLSI - Updates in Applied Physics and Electrical Technology 1991 edition

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This book has been written as part of a series of scientific books being published by Plenum Press. This book is unique in that it gives a compact, yet complete, in-depth overview of fundamentals, systems, processes, tools, and applications of etching with gas plasmas for VLSI.

254 pages, biography

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 1991年3月31日
ISBN13 9780306438356
出版社 Springer Science+Business Media
ページ数 237
寸法 178 × 254 × 19 mm   ·   666 g
言語 英語  

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