The Physics of Submicron Lithography - Microdevices - Kamil A. Valiev - 書籍 - Springer-Verlag New York Inc. - 9781461364610 - 2012年9月27日
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Kamil A. Valiev
The Physics of Submicron Lithography - Microdevices Softcover reprint of the original 1st ed. 1992 edition

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In this method the device is imaged as a pattern on a metal film that has been deposited onto a transparent substrate and by means of a broad stream of light is transferred to a semiconductor wafer within which the physical structure of the devices and the integrated circuit connections are formed layer by layer.

493 pages, biography

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2012年9月27日
ISBN13 9781461364610
出版社 Springer-Verlag New York Inc.
ページ数 493
寸法 178 × 254 × 26 mm   ·   870 g
言語 英語  

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