Plasma Charging Damage - Kin P. Cheung - 書籍 - Springer London Ltd - 9781447110620 - 2012年8月30日
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Kin P. Cheung
Plasma Charging Damage Softcover reprint of the original 1st ed. 2001 edition

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In the 50 years since the invention of transistor, silicon integrated circuit (IC) technology has made astonishing advances. In state of the art silicon Ie manufacturing process, plasma is used in more than 20 different critical steps.

364 pages, biography

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2012年8月30日
ISBN13 9781447110620
出版社 Springer London Ltd
ページ数 346
寸法 157 × 234 × 19 mm   ·   522 g
言語 英語  

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