Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing - Duane S. Boning - 書籍 - Taylor & Francis Inc - 9780849311789 - 2000年11月30日
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Duane S. Boning
Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing 第1 版

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Offers analyses of run-to-run (R2R) control. Through manufacturing case studies, this book provides justification for and demonstrates the benefits of run-to-run control, and offers the know-how and direction for incorporating R2R control into readers' manufacturing capabilities.

368 pages, 27 black & white tables

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2000年11月30日
ISBN13 9780849311789
出版社 Taylor & Francis Inc
ページ数 366
寸法 158 × 242 × 22 mm   ·   630 g
言語 英語  
編集者 Del Castillo, Enrique (Pennsylvania State University, University Park, Usa)
編集者 Hurwitz, Arnon M. (Friendswood, Texas, USA)
編集者 Moyne, James (University of Michigan, Ann Arbor, USA)

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