Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators - Microsystems - Gerhard Lammel - 書籍 - Springer - 9780792376552 - 2002年1月31日
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Gerhard Lammel
Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators - Microsystems 2002 edition

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Shows how to design and fabricate optical microsystems using technologies and original architectures. This work explains a barcode scanner, laser projection mirror and a microspectrometer, starting from the system conception, discussing simulations, choice of cleanroom technologies, design, fabrication, and device test to the system assembly.

268 pages, biography

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2002年1月31日
ISBN13 9780792376552
出版社 Springer
ページ数 268
寸法 156 × 234 × 17 mm   ·   576 g
言語 英語  

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