Scanning Probe Lithography - Microsystems - Hyongsok T. Soh - 書籍 - Springer - 9780792373612 - 2001年6月30日
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Hyongsok T. Soh
Scanning Probe Lithography - Microsystems 2001 edition

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Scanning Probe Lithography (SPL) describes recent advances in the field of scanning probe lithography, a high resolution patterning technique that uses a sharp tip in close proximity to a sample to pattern nanometer-scale features on the sample.

197 pages, biography

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2001年6月30日
ISBN13 9780792373612
出版社 Springer
ページ数 197
寸法 155 × 235 × 14 mm   ·   498 g
言語 英語  

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