Ion-Solid Interactions: Fundamentals and Applications - Cambridge Solid State Science Series - Nastasi, Michael (Los Alamos National Laboratory) - 書籍 - Cambridge University Press - 9780521373760 - 1996年3月29日
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Nastasi, Michael (Los Alamos National Laboratory)
Ion-Solid Interactions: Fundamentals and Applications - Cambridge Solid State Science Series

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This book describes how materials, from semiconductors to tool steels, can be modified to create new materials. Its importance is that it is the first book in two decades to describe completely the implantation process which is used universally in semiconductor production.

572 pages, 213 b/w illus. 45 tables

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 1996年3月29日
ISBN13 9780521373760
出版社 Cambridge University Press
ページ数 572
寸法 152 × 229 × 37 mm   ·   1,01 kg
言語 英語  
シリーズ編集者 Clarke, D. R.
シリーズ編集者 Suresh, S.
シリーズ編集者 Ward, I. M.

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