Nava Setter
Electroceramic-Based MEMS: Fabrication-Technology and Applications - Electronic Materials: Science & Technology Nava Setter 2005 edition

Name: Electroceramic-Based MEMS: Fabrication-Technology and Applications - Electronic Materials: Science & Technology
Price: 37687 JPY
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Author: Nava Setter

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Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2005 edition

(2010) ¥ 37.687

Electroceramic-Based MEMS: Fabrication-Technology and Applications - Electronic Materials: Science & Technology

Nava Setter

2005 edition

Focuses on the use of functional oxide and nitride thin films to increase functionality and application range of MEMS (microelectromechanical systems), including micro-sensors, micro-actuators, and electronic components for high frequency communications.

414 pages, biography

メディア	書籍 Hardcover Book (ハードカバー付きの本)
リリース済み	2005年3月3日
ISBN13	9780387233109
出版社	Springer-Verlag New York Inc.
ページ数	414
寸法	155 × 235 × 23 mm · 839 g
編集者	Setter, Nava