Laser Heat-Mode Lithography: Principle and Methods - Springer Series in Materials Science - Jingsong Wei - 書籍 - Springer Verlag, Singapore - 9789811509452 - 2020年11月29日
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Jingsong Wei
Laser Heat-Mode Lithography: Principle and Methods - Springer Series in Materials Science 2019 edition

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This book provides a systematic description and analysis of laser heat-mode lithography, addressing the basic principles, lithography system, manipulation of feature size, grayscale lithography, resist thin films, and pattern transfer, while also presenting typical experimental results and applications.

208 pages, 160 Illustrations, color; 22 Illustrations, black and white; XIII, 208 p. 182 illus., 160

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2020年11月29日
ISBN13 9789811509452
出版社 Springer Verlag, Singapore
ページ数 208
寸法 150 × 220 × 10 mm   ·   454 g

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