Micro and Nano Machined Electrometers - - 書籍 - Springer Verlag, Singapore - 9789811332463 - 2020年2月13日
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Micro and Nano Machined Electrometers 1st ed. 2020 edition

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The remarkably dynamic microelectromechanical systems (MEMSs)/nanoelectromechanical systems (NEMSs), and advances in solid-state electronics, hold considerable potential for the design and fabrication of extremely sensitive charge sensors.

220 pages, 124 Illustrations, color; 17 Illustrations, black and white; V, 220 p. 141 illus., 124 il

メディア 書籍     Book
リリース済み 2020年2月13日
ISBN13 9789811332463
出版社 Springer Verlag, Singapore
ページ数 220
寸法 150 × 220 × 20 mm   ·   512 g
編集者 Zhu, Yong

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