Pilar Gonzalez Ruiz
Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors - Springer Series in Advanced Microelectronics Pilar Gonzalez Ruiz Softcover reprint of the original 1st ed. 2014 edition

Name: Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors - Springer Series in Advanced Microelectronics
Price: 16214 JPY
Availability: OutOfStock
Author: Pilar Gonzalez Ruiz

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Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors - Springer Series in Advanced Microelectronics

Pilar Gonzalez Ruiz

Softcover reprint of the original 1st ed. 2014 edition

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors demonstrates the compatibility of poly-SiGe with post-processing above the advanced CMOS technology nodes through the successful fabrication of an integrated poly-SiGe piezoresistive pressure sensor, directly fabricated above 0.13 ?m Cu-backend CMOS.

199 pages, 144 Illustrations, color; XVI, 199 p. 144 illus. in color.

メディア	書籍 Paperback Book (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み	2015年8月8日
ISBN13	9789401781404
出版社	Springer
ジャンル	Aspects (Academic) > Science / Technology Aspects
ページ数	199
寸法	155 × 235 × 12 mm · 308 g