Anjli Sharma

Tecnologia MEMS Anjli Sharma

Dalla scoperta della microcolonna da Chang nel 1980, c'è stato un immenso interesse derivante dalla microcolonna miniaturizzata a causa delle sue varie applicazioni come la litografia diretta e-beam, dispositivo a basso costo, bassa tensione-SEM, e portatile-SEM a causa delle sue elevate prestazioni di throughput. Le dimensioni compatte permettono alle microcolonne di essere assemblate in forma di array, che migliora significativamente le prestazioni di imaging o il throughput della capacità di litografia. Abbiamo fabbricato e studiato tre diversi disegni di microcolonne, tutti che impiegano l'obiettivo di origine modificato, diversa distanza di lavoro e con e senza obiettivo. La qualità dell'immagine e la corrente di sonda di tutte le nuove microcolonne fabbricate sono state studiate. Le lenti elettrostatiche sono state fabbricate con la tecnica MEMS. L'emettitore di campo 2D-CNT è stato utilizzato come emettitore di sorgente per queste colonne. Il nostro risultato ha suggerito che tra tutte e tre le strutture di microcolonne, la microcolonna ultraminiaturizzata ha mostrato la più alta corrente di sonda 9,5 nA. Una microcolonna ultraminiaturizzata può essere un candidato promettente per lo strumento di litografia di prossima generazione in quanto il design è più adatto per la microcolonna integrata su scala di wafer rispetto alla microcolonna convenzionale.