Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes - Hans H. Gatzen - 書籍 - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783662443941 - 2015年1月20日
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Hans H. Gatzen
Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes 2015 edition

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For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.

519 pages, 303 black & white illustrations, 54 colour illustrations, 25 black & white tables, biogra

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2015年1月20日
ISBN13 9783662443941
出版社 Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
ページ数 519
寸法 164 × 240 × 31 mm   ·   952 g
言語 英語  

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