Herbert Reichl
Micro System Technologies 90: 1st International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components Berlin, 10-13 September 1990 Herbert Reichl Softcover reprint of the original 1st ed. 1990 edition

Name: Micro System Technologies 90: 1st International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components Berlin, 10-13 September 1990
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Author: Herbert Reichl

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Micro System Technologies 90: 1st International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components Berlin, 10-13 September 1990

Herbert Reichl

Softcover reprint of the original 1st ed. 1990 edition

The trend of the future development is to increase the integration density by combining the microelectronic, microoptic, and micro mechanic aspects to new complex multifunctional systems, which are able to comprise sensors, actuators, analogue and digital circuits on the same chip or on multichip-modules.

873 pages, biography

メディア	書籍 Paperback Book (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み	2014年12月4日
発売日	2013
ISBN13	9783642456800
出版社	Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
ページ数	858
寸法	155 × 235 × 44 mm · 1,20 kg
言語	ドイツ語
編集者	Reichl, Herbert