Design and Manufacturing of Active Microsystems - Microtechnology and MEMS - Stephanus Buttgenbach - 書籍 - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642129025 - 2011年3月10日
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Stephanus Buttgenbach
Design and Manufacturing of Active Microsystems - Microtechnology and MEMS 2011 edition

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This book presents the design and manufacturing of microsystems as well as necessary key technologies developed within the Collaborative Research Center 516. The research efforts of this collaboration are focused on active micro systems which are based on the electromagnetic actuator principle.

456 pages, 319 black & white illustrations, 33 colour illustrations

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2011年3月10日
ISBN13 9783642129025
出版社 Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
ページ数 444
寸法 155 × 235 × 30 mm   ·   748 g
言語 フランス語  
編集者 Burisch, Arne
編集者 Buttgenbach, Stephanus
編集者 Hesselbach, Jurgen

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