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Microsystem Technology and Microrobotics Sergej Fatikow Softcover reprint of the original 1st ed. 1997 edition
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Microsystem Technology and Microrobotics
Sergej Fatikow
Microsystem technology (MST) integrates very small (up to a few nanometers) mechanical, electronic, optical, and other components on a substrate to construct functional devices.
408 pages, biography
| メディア | 書籍 Paperback Book (ソフトカバーで背表紙を接着した本) |
| リリース済み | 2010年12月3日 |
| ISBN13 | 9783642082320 |
| 出版社 | Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm |
| ページ数 | 408 |
| 寸法 | 155 × 235 × 21 mm · 589 g |
| 言語 | 英語 |
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