Thin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials - Kiyotaka Wasa - 書籍 - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642059315 - 2013年1月2日
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Kiyotaka Wasa
Thin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials 2004 edition

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An invaluable resource for industrial science and engineering newcomers to sputter deposition technology in thin film production applications, this book is rich in coverage of both historical developments and the newest experimental and technological information about ceramic thin film, a key technology for nano-materials in high-speed information applications and large-area functional coating such as automotive or decorative painting of plastic parts.

Key topics: Principles and examples of making thin-film materials and devices such as nanometer composite thin films, nanometer superlattice of compound ceramics, micro-sensors and actuators, micro-MEMS, mobile compact/flexible ferroelectric memory, flat display including plasma display and PLD, and thin film catalysis, solar battery, and large-area functional window glass coating for energy and environmental uses; Covers techniques in automotive parts coatings :non-peel plastics coatings with metal, alloy, and compound films.

532 pages, black & white illustrations

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2013年1月2日
発売日 2011
ISBN13 9783642059315
出版社 Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
ページ数 532
寸法 155 × 235 × 27 mm   ·   743 g
言語 英語  

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