Reactive Sputter Deposition - Springer Series in Materials Science - D Depla - 書籍 - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540766629 - 2008年4月24日
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D Depla
Reactive Sputter Deposition - Springer Series in Materials Science 2008 edition

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In the family of Physical Vapour Deposition techniques, sputtering is one of the most important. This book describes various aspects of the reactive magnetron sputtering process, from the discharge up to the resulting thin film growth allowing the reader to understand the complete process.

590 pages, 336 black & white illustrations, 5 colour illustrations, 37 black & white tables

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2008年4月24日
ISBN13 9783540766629
出版社 Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
ページ数 572
寸法 162 × 241 × 45 mm   ·   1,13 kg
言語 ドイツ語  
編集者 Depla, Diederik
編集者 Mahieu, Stijn

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