Low Dielectric Constant Materials for IC Applications - Springer Series in Advanced Microelectronics - Paul S Ho - 書籍 - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540678199 - 2002年11月14日
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Paul S Ho
Low Dielectric Constant Materials for IC Applications - Springer Series in Advanced Microelectronics 2003 edition

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Low dielectric constant materials are an important component of microelectronic devices. Topics include: Organic dielectric materials, Inorganic dielectric materials, Composite dielectric materials, Metrology and characterization techniques, Integration, Reliability.

329 pages, biography

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2002年11月14日
ISBN13 9783540678199
出版社 Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
ページ数 310
寸法 155 × 235 × 19 mm   ·   594 g
言語 ドイツ語  
編集者 Ho, Paul S.
編集者 Lee, Wei William
編集者 Leu, Jihperng

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