Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques - R J Shul - 書籍 - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540667728 - 2000年8月28日
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R J Shul
Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques

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The ability to make small features in Si, metals, dielectrics and other materials has enabled rapid advances in computing and all other technologies that depend on microelectronics, miniature sensors and actuators and magnetic data storage. This work looks at plasma techniques, which enable the fine control and accurate pattern transfer.

655 pages, 141 black & white illustrations, 10 colour illustrations, biography

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2000年8月28日
ISBN13 9783540667728
出版社 Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
ページ数 655
寸法 166 × 244 × 49 mm   ·   1,05 kg
言語 ドイツ語  
編集者 Pearton, S. J.
編集者 Shul, R. J.

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