CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications - Microtechnology and MEMS - D. Lange - 書籍 - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540431435 - 2002年7月23日
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D. Lange

CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications - Microtechnology and MEMS 2002 edition

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This book is intended for scientists and engineers in the field of micro- and nano electro-mechanical systems (MEMS and NEMS) and introduces the development of cantilever-based sensor systems using CMOS-compatible micromachining from the design concepts and simulations to the prototype.

142 pages, biography

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2002年7月23日
ISBN13 9783540431435
出版社 Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
ページ数 142
寸法 166 × 243 × 14 mm   ·   340 g
言語 英語  

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