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Resonant MEMS: Fundamentals, Implementation, and Application - Advanced Micro and Nanosystems Oliver Brand
Resonant MEMS: Fundamentals, Implementation, and Application - Advanced Micro and Nanosystems
Oliver Brand
A must-have for any MEMS R&D group: for the first time vital and hard-to-come-by knowledge is combined in one ready reference. From the principles and implementations, the book presents a unified view of resonant MEMS and their applications rather than unrelated case studies.
496 pages
| メディア | 書籍 Hardcover Book (ハードカバー付きの本) |
| リリース済み | 2015年4月22日 |
| ISBN13 | 9783527335459 |
| 出版社 | Wiley-VCH Verlag GmbH |
| ジャンル | Aspects (Academic) > Science / Technology Aspects |
| ページ数 | 512 |
| 寸法 | 176 × 251 × 30 mm · 1,24 kg |
| 言語 | 英語 |
| シリーズ編集者 | Fedder, Gary K. |
| シリーズ編集者 | Hierold, Christofer |
| シリーズ編集者 | Korvink, Jan G. |
| シリーズ編集者 | Tabata, Osamu |
