Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology - Seongbo Shim - 書籍 - Springer International Publishing AG - 9783319762937 - 2018年4月3日
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Seongbo Shim
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology 2018 edition

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This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification.

138 pages, 40 Tables, color; 54 Illustrations, color; 38 Illustrations, black and white; XIV, 138 p.

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2018年4月3日
ISBN13 9783319762937
出版社 Springer International Publishing AG
ページ数 138
寸法 150 × 220 × 20 mm   ·   394 g
言語 ドイツ語  

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