Advanced MEMS / NEMS Fabrication and Sensors - - 書籍 - Springer Nature Switzerland AG - 9783030797485 - 2021年10月13日
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Advanced MEMS / NEMS Fabrication and Sensors 2022 edition

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This book begins by introducing new and unique fabrication, micromachining, and integration manufacturing methods for MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) and NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems) devices, as well as novel nanomaterials for sensor fabrications.

312 pages, 75 Tables, color; 157 Illustrations, color; 10 Illustrations, black and white; VI, 312 p.

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2021年10月13日
ISBN13 9783030797485
出版社 Springer Nature Switzerland AG
ページ数 312
寸法 150 × 220 × 20 mm   ·   705 g
言語 ドイツ語  
編集者 Yang, Zhuoqing

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