Flash Lamp Annealing - Rebohle - 書籍 - Springer Nature Switzerland AG - 9783030232986 - 2019年8月6日
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Rebohle
Flash Lamp Annealing 1st ed. 2019 edition

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This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey.

288 pages, 10 Tables, color; XVIII, 288 p.

メディア 書籍     Book
リリース済み 2019年8月6日
ISBN13 9783030232986
出版社 Springer Nature Switzerland AG
ページ数 288
寸法 150 × 220 × 20 mm   ·   607 g
言語 ドイツ語  

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