Precision Nanometrology: Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing - Springer Series in Advanced Manufacturing - Wei Gao - 書籍 - Springer London Ltd - 9781849962537 - 2010年6月28日
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Wei Gao

Precision Nanometrology: Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing - Springer Series in Advanced Manufacturing 2010 edition

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Precision Nanometrology describes the new field of precision nanometrology, which plays an important part in nanoscale manufacturing of semiconductors, optical elements, precision parts and similar items.


367 pages, 3 black & white tables, biography

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2010年6月28日
ISBN13 9781849962537
出版社 Springer London Ltd
ページ数 354
寸法 241 × 165 × 28 mm   ·   635 g
言語 英語  

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