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Micro / Nanolithography: A Heuristic Aspect on the Enduring Technology Jagannathan Thirumalai
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Micro / Nanolithography: A Heuristic Aspect on the Enduring Technology
Jagannathan Thirumalai
The main objective of this book is to give proficient people a comprehensive review of up-to-date global improvements in hypothetical and experimental evidences, perspectives and prospects of some newsworthy instrumentation and its numerous technological applications for a wide range of lithographic fabrication techniques.
134 pages
| メディア | 書籍 Hardcover Book (ハードカバー付きの本) |
| リリース済み | 2018年5月2日 |
| ISBN13 | 9781789230307 |
| 出版社 | IntechOpen |
| ページ数 | 134 |
| 寸法 | 251 × 176 × 17 mm · 406 g |
| 言語 | 英語 |
| 編集者 | Thirumalai, Jagannathan |
