Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology - IOP Concise Physics - David C. Cox - 書籍 - Morgan & Claypool Publishers - 9781681740201 - 2015年10月1日
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David C. Cox
Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology - IOP Concise Physics

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This book describes modern focused ion beam microscopes and techniques and how they can be used to aid materials metrology and as tools for the fabrication of devices that in turn are used in many other aspects of fundamental metrology.

104 pages

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2015年10月1日
ISBN13 9781681740201
出版社 Morgan & Claypool Publishers
ページ数 104
寸法 253 × 178 × 8 mm   ·   163 g
言語 英語  

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