Optical Inspection of Microsystems, Second Edition - Wolfgang Osten - 書籍 - Taylor & Francis Inc - 9781498779470 - 2019年6月25日
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Wolfgang Osten
Optical Inspection of Microsystems, Second Edition 第2 版

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This book provides an up-to-date survey of the most important and widely used full-field optical metrology and inspection technologies. Techniques such as interference microscopy, laser Doppler vibrometry, holography, speckle metrology, spectroscopy and deflectrometry and digital holographic microscropy for the inspection of MEMS.

600 pages, 32 Illustrations, color; 525 Illustrations, black and white

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 2019年6月25日
ISBN13 9781498779470
出版社 Taylor & Francis Inc
ページ数 570
寸法 262 × 188 × 30 mm   ·   1,38 kg
言語 英語  
編集者 Osten, Wolfgang (Universitat Stuttgart, Germany)

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