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Optical Inspection of Microsystems, Second Edition 第2 版
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Optical Inspection of Microsystems, Second Edition
This book provides an up-to-date survey of the most important and widely used full-field optical metrology and inspection technologies. Techniques such as interference microscopy, laser Doppler vibrometry, holography, speckle metrology, spectroscopy and deflectrometry and digital holographic microscropy for the inspection of MEMS.
600 pages, 32 Illustrations, color; 525 Illustrations, black and white
| メディア | 書籍 Hardcover Book (ハードカバー付きの本) |
| リリース済み | 2019年6月25日 |
| ISBN13 | 9781498779470 |
| 出版社 | Taylor & Francis Inc |
| ページ数 | 570 |
| 寸法 | 262 × 188 × 30 mm · 1,38 kg |
| 言語 | 英語 |
| 編集者 | Osten, Wolfgang (Universitat Stuttgart, Germany) |
