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Microlithography: Science and Technology Bruce W. Smith 第3 版
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Microlithography: Science and Technology
Bruce W. Smith
Like the bestselling original, this third edition of Microlithography is a self-contained text detailing both elementary and advanced aspects of submicron microlithography, offering a balanced treatment of theoretical and operating practices.
900 pages, 570 black & white illustrations, 40 black & white tables
| メディア | 書籍 Hardcover Book (ハードカバー付きの本) |
| リリース済み | 2020年5月20日 |
| ISBN13 | 9781439876756 |
| 出版社 | Taylor & Francis Inc |
| ページ数 | 838 |
| 寸法 | 150 × 220 × 20 mm · 1,62 kg |
| 言語 | 英語 |
| 編集者 | Smith, Bruce W. (Rochester Institute of Technology, New York, USA) |
| 編集者 | Suzuki, Kazuaki (Nikon Corporation, Tokyo, Japan) |
