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Microelectromechanical Systems - Materials and Devices IV: Volume 1299 - MRS Proceedings
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Microelectromechanical Systems - Materials and Devices IV: Volume 1299 - MRS Proceedings
Symposium S, 'Microelectromechanical Systems - Materials and Devices IV', focused on micro- and nanoelectromechanical systems (MEMS/NEMS).
220 pages, 143 b/w illus. 12 tables
| メディア | 書籍 Paperback Book (ソフトカバーで背表紙を接着した本) |
| リリース済み | 2014年6月5日 |
| ISBN13 | 9781107406834 |
| 出版社 | Cambridge University Press |
| ページ数 | 220 |
| 寸法 | 152 × 229 × 12 mm · 466 g (重量（概算）) |
| 言語 | 英語 |
| 編集者 | De Boer, Maarten P. (Carnegie Mellon University, Pennsylvania) |
| 編集者 | DelRio, Frank W. |
| 編集者 | Eberl, Christoph |
| 編集者 | Gusev, Evgeni |
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