Micromachining - Lydia Anggraini - 書籍 - - 9781090363268 - 2019年3月13日
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Lydia Anggraini
Micromachining

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This book describe how nanoscale resist patterns technology were machined or fabricated on a silicon substrate using a scanning probe microscope (SPM) based on nanolithography (SPNL). The advantage by using this technology is the low cost of nanopatterning device technology can be created, where an atomic force microscope (AFM) is used. Conventional SPNL directly writes nanopatterns using a single probe cantilever.

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2019年3月13日
ISBN13 9781090363268
ページ数 82
寸法 216 × 279 × 5 mm   ·   285 g
言語 英語  

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