Kaiying Wang
Green Etching Techniques for MEMS Applications: Sustainable, Fluorine-Free Etching Methods for Micro-Electro-Mechanical Systems Kaiying Wang

Name: Green Etching Techniques for MEMS Applications: Sustainable, Fluorine-Free Etching Methods for Micro-Electro-Mechanical Systems
Price: 19119 JPY
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Author: Kaiying Wang

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Green Etching Techniques for MEMS Applications: Sustainable, Fluorine-Free Etching Methods for Micro-Electro-Mechanical Systems

Kaiying Wang

Green Etching Techniques for MEMS Applications delivers an essential and comprehensive exploration of sustainable, fluorine-free etching methodologies for micro-electro-mechanical systems (MEMS).

メディア	書籍 Hardcover Book (ハードカバー付きの本)
リリース済み	2025年12月18日
ISBN13	9781041144960
出版社	Taylor & Francis Ltd
ページ数	122
寸法	150 × 220 × 20 mm · 410 g
言語	英語