Microlithography: Science and Technology - Bruce W. Smith-Kazuaki Suzuki - 書籍 - Taylor & Francis Ltd - 9781032836737 - 2024年6月24日
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Bruce W. Smith-Kazuaki Suzuki
Microlithography: Science and Technology 第3 版

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Like the bestselling original, this third edition of Microlithography is a self-contained text detailing both elementary and advanced aspects of submicron microlithography, offering a balanced treatment of theoretical and operating practices.

838 pages, 570 Illustrations, black and white

メディア 書籍     Paperback Book   (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み 2024年6月24日
ISBN13 9781032836737
出版社 Taylor & Francis Ltd
ページ数 850
寸法 181 × 256 × 46 mm   ·   1,52 kg
編集者 Smith, Bruce W.
編集者 Suzuki, Kazuaki

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