Radio-Frequency Capacitive Discharges - Yuri P. Raizer - 書籍 - Taylor & Francis Inc - 9780849386442 - 1995年2月24日
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Yuri P. Raizer
Radio-Frequency Capacitive Discharges 第1 版

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Describes radio-frequency (rf) capacitive gas discharges of intermediate and low pressure and their application to gas laser excitation and to plasma processing. This work provides a treatment of the physics underlying rf discharges, techniques for generating such discharges, experimental methods and measurement techniques, and research results.

304 pages

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 1995年2月24日
ISBN13 9780849386442
出版社 Taylor & Francis Inc
ページ数 304
寸法 237 × 160 × 25 mm   ·   564 g
言語 英語  

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