E F Schubert
Delta-doping of Semiconductors E F Schubert

Name: Delta-doping of Semiconductors
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Author: E F Schubert

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Delta-doping of Semiconductors

E F Schubert

This book is the first to give a comprehensive review of the theory, fabrication, characterisation, and device applications of abrupt, shallow, and narrow doping profiles in semiconductors. Such doping profiles are a key element in the development of modern semiconductor technology.

620 pages, 417 b/w illus. 20 tables

メディア	書籍 Paperback Book (ソフトカバーで背表紙を接着した本)
リリース済み	2005年8月22日
ISBN13	9780521017961
出版社	Cambridge University Press
ページ数	620
寸法	188 × 247 × 35 mm · 1,18 kg
言語	英語
編集者	Schubert, E. F. (Boston University)