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Semiconductor micromachining Hans-joachim Lewerenz Volume 2 edition
Semiconductor micromachining
Hans-joachim Lewerenz
A two-volume comprehensive guide to both the fundamental physics and chemistry of semiconductor processing, this text covers a broad range of topics ranging from chemical processes through to the microstructuring of semiconductors. Volume two concerns techniques and industrial applications.
406 pages, 141 illustrations, 34 graphs, 18 tables
| メディア | 書籍 Hardcover Book (ハードカバー付きの本) |
| リリース済み | 1998年3月26日 |
| ISBN13 | 9780471966821 |
| 出版社 | John Wiley And Sons Ltd |
| ページ数 | 406 |
| 寸法 | 156 × 237 × 29 mm · 742 g |
| 言語 | 英語 |
| redaktor | Lewerenz, H. J. |
