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Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization Y Li
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Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization
Y Li
This book provides systematic and comprehensive description about the current state of CMP technology. It includes the important fundamentals and basic science as well, making the book fit as an introduction to CMP newcomers and a valuable reference source for professionals.
734 pages, Illustrations
| メディア | 書籍 Hardcover Book (ハードカバー付きの本) |
| リリース済み | 2007年10月1日 |
| ISBN13 | 9780471719199 |
| 出版社 | John Wiley & Sons Inc |
| ページ数 | 760 |
| 寸法 | 155 × 236 × 43 mm · 1,19 kg |
| 言語 | 英語 |
| 編集者 | Li, Yuzhuo |
