Specialty Gas Analysis: A Practical Guidebook - JD Hogan - 書籍 - John Wiley & Sons Inc - 9780471185987 - 1996年12月1日
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JD Hogan
Specialty Gas Analysis: A Practical Guidebook

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The semiconductor industry is moving toward gas-phase reagents, increasing the relative importance of gas purity. Anyone who deals in the manufacturing of these devices needs to understand the technology available for modern gas analysis.

200 pages, appendices, index

メディア 書籍     Hardcover Book   (ハードカバー付きの本)
リリース済み 1996年12月1日
発売日 1997
ISBN13 9780471185987
出版社 John Wiley & Sons Inc
ページ数 200
寸法 161 × 241 × 16 mm   ·   503 g
編集者 Hogan, Jeremiah D.

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